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公用工程模塊

超純水/注射水（UPW/WFI）供應

高純度氮氣/氫氣發生器

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概述

● 超純水/注射水（UPW/WFI）供應

采用EDI+多效蒸餾工藝，配備臭氧循環滅菌與紫外消毒模塊，符合USP<645>/EP 2.2.45標準，適用生物制藥、半導體清洗等超純工藝需求。

● 高純度氣體供應系統

配置PSA氮氣發生器與電解氫氣系統，壓力范圍可調節，流量穩定；內置脫氧催化劑與顆粒過濾器，滿足氫化反應、惰性保護等嚴苛工況。

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