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真空與壓力控制模塊

真空泵組：干式螺桿真空泵，極限真空度≤5kPa

穩壓系統：PID自動調節，壓力波動±1%

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概述

●真空泵組

采用無油干式螺桿真空泵，極限真空度≤5kPa，耐腐蝕鈦合金轉子搭配陶瓷涂層腔體，實現無污染、低噪音運行。支持連續抽吸含微顆粒氣體，適配制藥溶劑回收、電子特氣處理等對潔凈真空要求嚴苛的場景。

●穩壓系統

集成高精度PID算法與快速響應閥門組，實時調節系統壓力。多級緩沖設計兼容真空至正壓全范圍調控，確保蒸發過程穩定性，滿足精細化工、高純度材料合成等對壓力敏感的工業化生產需求。

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